WF6 asosan elektronika sanoatida metall volframning kimyoviy bug'larini cho'ktirish (CVD) jarayoni uchun xom ashyo sifatida ishlatiladi. WF6 dan tayyorlangan WSi2 keng miqyosli integral mikrosxemalar (LSI) da simli material sifatida ishlatilishi mumkin, shuningdek, yarimo'tkazgich elektrodlari uchun xom ashyo sifatida ishlatilishi mumkin, ftor kimyoviy moddalar uchun xom ashyo, polimerizatsiya katalizatorlari, optik materiallar va boshqalar.